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MKS金屬密封式質量流量計（GM50A）是通用型金屬密封式質量流量計（MFM），適用于需要從5標準立方厘米每分鐘（sccm）到50標準升每分鐘（slm）全量程的廣泛應用場合，等效于氮氣（N2）。
| 品牌 | MKS/美國 | 價格區間 | 1萬-3萬 |
|---|---|---|---|
| 產品種類 | 質量式 | 介質分類 | 氣體 |
| 產地類別 | 進口 | 應用領域 | 生物產業,能源,制藥/生物制藥,汽車及零部件 |
MKS金屬密封式質量流量計（GM50A）
GM50A和GM51A是通用型金屬密封式質量流量計（MFM），適用于需要從5標準立方厘米每分鐘（sccm）到50標準升每分鐘（slm）全量程的廣泛應用場合，等效于氮氣（N2）。這些儀表采用了數字流量計電子技術和經過驗證的、熱傳感器及機械設計。
GM50A 寬 1.45 英寸。
GM51A 寬 1.25 英寸。
l嵌入式用戶界面可輕松更改范圍和氣體，減少所需庫存
l就地監控和收集設備數據
l16微英寸316L表面處理，適用于高純度應用
l廣泛的數字或模擬I/O選擇
多氣體/多量程能力
多氣體/多量程功能，以及對準確度的嚴格性能規范，使用戶能夠最小化高流量MFM部件編號的庫存。多氣體/多量程功能（以及其他自定義控制）是通過MFM嵌入式診斷接口訪問的，該接口不需要特殊的軟件或硬件即可操作。標準以太網電纜和廣泛可用的JAVA啟用HTML瀏覽器就是所需的所有工具。典型高流量氣體的氣體關鍵參數已經存儲在設備上。配置設備只是從下拉菜單中選擇氣體并指定所需的滿量程流量范圍。診斷接口還允許用戶執行常規設備健康檢查，繪制流量圖，并存儲操作數據以進行離線分析。
MKS金屬密封式質量流量計（GM50A）
技術參數
類型 | 質量流量計 (MFM) | 零溫度系數 | <0.05% 全量程/°C |
流量量程范圍 | 5-50000 sccm (等效N2) | 張力溫度系數 | <0.08% 每度攝氏度讀數 |
測量范圍 | 0.1%到100%的滿量程（機構上的范圍） | 入口壓力系數 | <0.02% 的閱讀/psi |
配合類型 | Swagelok® 4 VCR® 陽螺紋, 0.25 英寸 | 熱身時間 | 30分鐘（達到穩態性能的0.2%范圍內） |
工作溫度 | 10-50°C | ||
儲存濕度 | 0到95%相對濕度，不冷凝 | ||
外部泄露密封性 | <1 x 10-10 (標準立方厘米/秒 氦氣) | ||
潮濕材料 | 316L不銹鋼 VAR（等同于半導體質量的316不銹鋼SCQ） | ||
表面粗糙度 | 16微英寸平均粗糙度 | ||
流量輸入輸出信號 | 電壓 (0到5 VDC) | 電源要求 | +15至+24VDC（<2W） |
模擬連接器 | 15針D型公頭 | 重量 | <2.5 磅（1.1 公斤） |
合規 | CE | ||
zui大入口壓力 | 500 psi | 證明壓力 | 1000 psig |
爆破壓力 | 1500 psig | 典型精度 | 讀數的±1% |
重復性 | 讀數的±0.3% | 分辨率 | 滿量程的0.1% |
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