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MKS金屬密封式質量流量計(GM50A)是通用型金屬密封式質量流量計(MFM),適用于需要從5標準立方厘米每分鐘(sccm)到50標準升每分鐘(slm)全量程的廣泛應用場合,等效于氮氣(N2)。
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