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產(chǎn)品中心MKSMKS流量計(jì)P4BMKS高性能質(zhì)量流量計(jì)
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MKS高性能質(zhì)量流量計(jì)（P4B）結(jié)合了數(shù)字流量計(jì)電子技術(shù)和一個(gè)經(jīng)過充分驗(yàn)證的、熱傳感器和機(jī)械設(shè)計(jì)。
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產(chǎn)品分類| 品牌 | MKS/美國 | 價(jià)格區(qū)間 | 1萬-3萬 |
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)品種類 | 質(zhì)量式 | 介質(zhì)分類 | 氣體 |
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 生物產(chǎn)業(yè),能源,制藥/生物制藥,汽車及零部件 |
MKS高性能質(zhì)量流量計(jì)（P4B）
P4B 是一個(gè) 1.125 英寸的機(jī)殼，多氣體/多量程，金屬密封的流量計(jì) (MFM)。P4B 儀表結(jié)合了數(shù)字流量計(jì)電子技術(shù)和一個(gè)經(jīng)過充分驗(yàn)證的、熱傳感器和機(jī)械設(shè)計(jì)。數(shù)字電子設(shè)備采用MKS算法，提供多氣體/多量程測(cè)量能力。包括數(shù)字校準(zhǔn)，校準(zhǔn)氣體的準(zhǔn)確度為讀數(shù)的 1%。
l嚴(yán)格控制流程氣體的流量精度以改進(jìn)腔室工藝匹配
l嵌入式配置和診斷軟件，允許用戶在不從工具中移除設(shè)備的情況下檢查MFM功能。
MKS高性能質(zhì)量流量計(jì)（P4B）
技術(shù)參數(shù)
類型 | 質(zhì)量流量計(jì) | 全量程流量范圍 | 5-50000 sccm |
測(cè)量范圍 | 0.1-100% 的滿量程（機(jī)構(gòu)上的范圍） | 最da入口壓力 | 500 psig |
證明壓力 | 1000 psig | 爆破壓力 | 1500 psig |
典型精度 | 設(shè)定點(diǎn)的±1% 適用于 20-100% 滿量程 | 重復(fù)性 | ±0.3% 的讀數(shù) |
分辨率 | 滿量程的0.1% | 零溫度系數(shù) | <滿量程的0.05%./°C |
張力溫度系數(shù) | <0.08% 每度 Celsius 讀數(shù) | 入口壓力系數(shù) | <0.02% 的讀數(shù)/psi |
預(yù)熱時(shí)間 | <30 分鐘（達(dá)到穩(wěn)態(tài)性能的 0.2% 以內(nèi)） | 工作溫度 | 10-50°C |
儲(chǔ)存濕度 | 0-95%相對(duì)濕度，不冷凝 | 儲(chǔ)存溫度 | -20° 至 80°C (-4° 至 149° F) |
溫度顯示 | 0-100°C | 溫度精度 | ±2°C |
溫度分辨率 | 0.1°C | 顯示 | 4位數(shù)字表示數(shù)值，4位字符表示單位 |
配合類型 | 兼容：Swagelok® 4 VCR®，1.125 英寸表面安裝（C密封，W密封），1.5 英寸 W密封 | 外部泄露完整性 | <1 x 10-10 |
潮濕材料 | 316L不銹鋼（等同于半導(dǎo)體質(zhì)量的316不銹鋼SCQ），316不銹鋼 | 表面粗糙度 | 10微英寸平均粗糙度 |
重量 | <2.5 磅（1.1千克） | 合規(guī) | CE |
電源要求 | +15 到 +24 VDC @ 最da 200mA | 模擬I/O連接器 | 15針D型公頭，9針D型公頭 |
流量輸入輸出信號(hào) | 0到5伏直流電 | 設(shè)備網(wǎng)連接器 | 5針微型連接器（DeviceNet） |
RS485連接器 | 9針D型公頭 |
功能
通訊選項(xiàng)
數(shù)字輸入輸出 | DeviceNet™ |
所需輸入功率 | +11到+25 VDC符合DeviceNet規(guī)范 (@ <2.0 瓦) |
數(shù)據(jù)速率開關(guān)/選擇 | 4 個(gè)位置：125, 250, 500K（默認(rèn)），PGM（可通過網(wǎng)絡(luò)編程） |
數(shù)據(jù)速率/網(wǎng)絡(luò)長(zhǎng)度 | 數(shù)據(jù)速率（用戶可選） |
MAC ID 交換機(jī)/地址 | 2個(gè)開關(guān)，10個(gè)位置；0,0到6,3是硬件ID號(hào)碼 |
網(wǎng)絡(luò)規(guī)模 | zui多64個(gè)節(jié)點(diǎn) |
網(wǎng)絡(luò)拓?fù)浣Y(jié)構(gòu) | 線性（主干線/分支線）電力和信號(hào)在同一條網(wǎng)絡(luò)電纜上 |
視覺指示器 | LED網(wǎng)絡(luò)狀態(tài)（綠色/紅色） |
合規(guī)性 | 歐洲共同市場(chǎng) |
多氣體/多量程能力
多氣體/多量程功能，以及對(duì)準(zhǔn)確度的嚴(yán)格性能規(guī)范，使用戶能夠盡量減少高流量MFM部件編號(hào)的庫存。多氣體/多量程功能（及其他自定義控制）是通過MFM嵌入式診斷接口訪問的，該接口無需特殊軟件或硬件即可操作。只需一根標(biāo)準(zhǔn)以太網(wǎng)電纜和一個(gè)支持JAVA的HTML瀏覽器（廣泛可用）即可。典型高流量氣體的氣體關(guān)鍵參數(shù)已經(jīng)存儲(chǔ)在設(shè)備上。配置設(shè)備只是從下拉菜單中選擇氣體并指定所需的滿量程流量范圍。診斷接口還允許用戶進(jìn)行常規(guī)設(shè)備健康檢查、繪制流量圖并存儲(chǔ)操作數(shù)據(jù)以供離線分析。
杭州域勢(shì)科技有限公司專注于為工業(yè)及科研客戶提供流量、壓力、真空檢測(cè)及控制相關(guān)的技術(shù)服務(wù)及解決方案，公司代理經(jīng)銷美國ALICAT、瑞士Vogtlin、美國MKS、日本EBARA等品牌，結(jié)合代理的產(chǎn)品為客戶提供優(yōu)質(zhì)的流量及壓力監(jiān)控解決方案，旨在提高客戶的研發(fā)及生產(chǎn)效率、改進(jìn)客戶制造工藝、推動(dòng)客戶科研及創(chuàng)新進(jìn)度。
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