MKS冷陰極真空計（971B）

971B UniMag™ 真空傳感器提供測量范圍從 1x10-8 Torr到 5x10-3Torr，基于冷陰極反向磁控管傳感器技術。971B是一種用于基壓測量和控制的經濟有效的解決方案。除了其小尺寸、寬范圍和低成本之外，971 UniMag™ 冷陰極反向磁控管傳感器真空計可以通過數字通信操作，也可以作為自主模擬單元操作。970B 系列傳感器具有標準的 15 針 HD Sub-D 連接器。

l絕dui測量范圍從 1x10-8 到 0.005 Torr

l冷陰極陽極模塊設計是可維護的，以減少停機時間。

l操作簡便，可通過模擬輸出、RS232或RS485進行控制

l可選的集成觸摸屏顯示用于當地壓力指示

l三個用戶可配置的繼電器用于過程控制

l緊湊型設計提供了緊湊型換能器解決方案

MKS冷陰極真空計（971B）

技術參數

功能

數字通信

970B系列真空傳感器具有RS232、RS485和EtherCAT（僅972B）數字通信接口，用于設置傳感器參數并提供實時壓力測量。數字接口可用于控制壓力單元、波特率、地址、工廠默認設置、用戶標簽、RS485測試、氣體校正；設定點功能：值、滯后、方向、HV啟用、保護、控制設定點和氣體類型。

0.5 VDC per decade模擬輸出

所有970B系列傳感器都有0.5 VDC per decade的模擬壓力輸出，可以與外部模擬設備連接以進行壓力讀取或控制。其他模擬輸出和曲線可以通過數字用戶界面進行選擇。它可以模擬多種其他真空傳感器的模擬電壓輸出。模擬功能可以在OEM應用中升級和替換其他供應商的儀表而無需更改系統軟件。

可選集成觸摸屏顯示

可選的集成觸摸屏顯示器可以由用戶配置；用戶可以更改壓力單位、方向，并且可以訪問設定點參數以及氣體類型。該顯示器還顯示可用設定點繼電器的狀態。在高對比度顯示屏上，可以從5米外清楚地看到單個傳感器的壓力讀數或組合讀數。

過程控制繼電器

970B 系列具有最多三個機械SPST繼電器，可用于過程控制，例如聯鎖閥或泵。繼電器觸點的額定值為30 VAC或VDC，電阻性負載為1安培。

應用程序

傳感器和轉換器的測量范圍。從上到下：971B、972B 和 974B

970B系列傳感器是為在大氣壓到10-8托耳壓力范圍內運行的真空用戶提供緊湊且低成本的測量解決方案。970B系列傳感器的小尺寸使其成為系統集成商的理想選擇，可以減少占用空間并實現微型化。

應用包括：

l分析設備（質譜儀控制）

l掃描電子顯微鏡

l涂層系統

l半導體裝載鎖壓力控制

l通用真空基壓測量

杭州域勢科技有限公司專注于為工業及科研客戶提供流量、壓力、真空檢測及控制相關的技術服務及解決方案，公司代理經銷美國ALICAT、瑞士Vogtlin、美國MKS、日本EBARA等品牌，結合代理的產品為客戶提供優質的流量及壓力監控解決方案，旨在提高客戶的研發及生產效率、改進客戶制造工藝、推動客戶科研及創新進度。