INFICON英福康光學(xué)氣體分析儀（Quantus® LP100+）

隨著技術(shù)進(jìn)步將工藝推向極限，半導(dǎo)體制造過程監(jiān)控變得越來越重要。即使是微量污染也會對結(jié)果產(chǎn)生重大影響，因此在關(guān)鍵制程環(huán)境中進(jìn)行實(shí)時泄漏和端點(diǎn)檢測至關(guān)重要。INFICON Quantus® LP100+ 氣體分析儀可即時識別微小變化并做出反應(yīng)，從而最da限度地減少晶片廢料并提高產(chǎn)量。

Quantus LP100+ 以自等離子體光學(xué)發(fā)射光譜 (SPOES) 技術(shù)為基礎(chǔ)，檢測限低至 ppm 以下，安裝位置靈活，可安裝在腔室或泵管線上。

Quantus LP100+ 采用獨(dú)特的傳感器設(shè)計(jì)，與傳統(tǒng)的 OES 產(chǎn)品相比具有無可比ni的優(yōu)勢。該傳感器可在等離子池中產(chǎn)生局部等離子體，從而將基于 OES 的氣體分析儀的功能從等離子室安裝擴(kuò)展到非等離子室和其他工具位置，如前線或排氣管路。Quantus LP100+ 的工作范圍為 10 mTorr 至 1 Torr，無需昂貴的泵系統(tǒng)，可與許多工藝兼容，同時只需最少的維護(hù)，擁有成本低。

Quantus LP100+ 使用標(biāo)準(zhǔn) KF25 端口輕松連接到系統(tǒng)。它占地面積小，不會影響工藝工具內(nèi)部和周圍的日常操作。

特點(diǎn)

l 工作范圍從 10 mTorr 到 1 Torr  

l 出色的檢測限低至 ppm 級 

l 使用標(biāo)準(zhǔn) KF25 連接，安裝簡單 

l 10 Hz 快速采樣率 

l 維護(hù)少，長期可靠 

l 擁有成本低，無需泵或耗材 

l 方便現(xiàn)場更換等離子池 

l 占地面積小：（高 x 寬 x 長）87 x 150 x 241 毫米（3.4 x 5.9 x 9.5 英寸）

l 由經(jīng)過現(xiàn)場培訓(xùn)、經(jīng)驗(yàn)豐富的 INFICON 工程師提供支持

INFICON英福康光學(xué)氣體分析儀（Quantus® LP100+）

技術(shù)規(guī)格

尺寸圖

杭州域勢科技有限公司專注于為工業(yè)及科研客戶提供流量、壓力、真空檢測及控制相關(guān)的技術(shù)服務(wù)及解決方案，公司代理經(jīng)銷美國ALICAT、瑞士Vogtlin、美國MKS、日本EBARA等品牌，結(jié)合代理的產(chǎn)品為客戶提供優(yōu)質(zhì)的流量及壓力監(jiān)控解決方案，旨在提高客戶的研發(fā)及生產(chǎn)效率、改進(jìn)客戶制造工藝、推動客戶科研及創(chuàng)新進(jìn)度。