LINXON四極質(zhì)譜分析儀（myRGA）

用于一般真空應(yīng)用

可靠和成本效益的氣體分析

LINXON myRGA 是可靠的殘余氣體分析儀 (RGA), 擁有為氣體分析, 檢漏和污染檢測(cè)所需的高性能和低價(jià)格. 這種簡(jiǎn)單易用的 RGA 具有業(yè)界優(yōu)秀的最小可檢測(cè)分壓強(qiáng) (MDPP),信噪比和數(shù)據(jù)收集速度. 該氣體分析儀提供了低總體擁有成本和高平均故障間隔時(shí)間(MTBFs) 的經(jīng)濟(jì)而有效的解決方案.

myRGA 提供好的價(jià)值

LINXON myRGA 專為需要這種經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的 RGA 的強(qiáng)勁性能的一般真空和 R&D 應(yīng)用而設(shè)計(jì). 您可選擇 100 或 200 amu 的質(zhì)量范圍, 儀器提供了高水平的性能. 此外, myRGA可裝備標(biāo)準(zhǔn)的法拉第杯檢測(cè)器或可選的電子倍增器, 用于需要監(jiān)測(cè)低含量氣體濃度能力的應(yīng)用中.

用于 myRGA 傳感器的現(xiàn)代化離子源設(shè)計(jì)將兩根燈絲集成在陽(yáng)極, 陰極和反射極的組裝件中. 雙燈絲設(shè)計(jì)中包含一根可使 RGA 具有最大上線時(shí)間的備用燈絲. 使用 myRGA,還可獲得特定應(yīng)用的燈絲選擇 (鎢絲用于含鹵素的過(guò)程或涂敷氧化釔的銥燈絲用于含氧的過(guò)程), 確保過(guò)程本身不會(huì)縮短燈絲的壽命. 更換 myRGA 中的燈絲套件相當(dāng)于更換傳統(tǒng) RGAs 的整個(gè)離子源, 節(jié)約成本, 從而大大地降低總體擁有成本.

傳感器的另一個(gè)關(guān)鍵特征是能夠在與質(zhì)譜儀并行運(yùn)行的同時(shí)測(cè)量總壓強(qiáng). 這個(gè)壓強(qiáng)測(cè)量可用于燈絲的過(guò)壓保護(hù).

新傳感器設(shè)計(jì)提供了可現(xiàn)場(chǎng)更換電子倍增器 (EM) (如配備) 的附加好處. 在定期的維護(hù)日程內(nèi)可現(xiàn)場(chǎng)快速更換 EM. 為延長(zhǎng)使用壽命, 研制了新型倍增器, 提供比法拉第杯 (FC)更高的靈敏度和更高的增益.

myRGA優(yōu)秀性

l 價(jià)格低廉和價(jià)值好的氣體分析儀，用于檢漏和過(guò)程氣體控制。

l 操作方便：直觀的軟件可簡(jiǎn)化儀器的初始設(shè)置

l 維護(hù)最少：易于現(xiàn)場(chǎng)更換的燈絲和離子源組件以及電子倍增器

l 簡(jiǎn)單集成選項(xiàng)，任何人都可以通過(guò)http界面和LabVIEW開(kāi)發(fā)套件學(xué)習(xí)

l 可快速交貨

操作方便

使用 myRGA, 無(wú)需安裝軟件. 該儀器由集成的機(jī)載網(wǎng)頁(yè)服務(wù)器通過(guò)網(wǎng)頁(yè)瀏覽器操作, 獨(dú)立于您的操作系統(tǒng). 通過(guò) PC, 平板電腦或智能手機(jī)訪問(wèn) myRGA; 機(jī)載網(wǎng)頁(yè)服務(wù)器可動(dòng)態(tài)適應(yīng)您的屏幕尺寸和分辨率.

如您愿意使用 LabVIEW 軟件操作 LINXON myRGA, 隨機(jī)附有 LabVIEW 軟件開(kāi)發(fā)套件. 使用提供的 LabVIEW驅(qū)動(dòng)程序示例來(lái)定制軟件, 以滿足您的需求.

特點(diǎn)

l 快速的數(shù)據(jù)收集  

l 機(jī)載網(wǎng)頁(yè)服務(wù)器

l LabVIEW 軟件開(kāi)發(fā)套件  

l TCP/IP 以太網(wǎng)連接

l 雙燈絲

l 可現(xiàn)場(chǎng)更換燈絲, 離子源和電子倍增器

l 可互換的傳感器和電子學(xué)設(shè)備

l RoHS 認(rèn)證

應(yīng)用

真空鍍膜

與使用哪種 PVD 類型的過(guò)程 (EB-PVD, IB-PVD, 或標(biāo)準(zhǔn)PVD) 無(wú)關(guān), LINXON myRGA 均可提供與任何其他監(jiān)測(cè)方法不同的系統(tǒng)視圖. 無(wú)論是監(jiān)測(cè)工藝室是否漏氣, 還是監(jiān)測(cè)氣體管線是否被污染. 如果您需要找出工藝室抽空未達(dá)到基本真空的原因, 可使用內(nèi)置的檢漏功能有效地查找泄漏所在.

熱處理

任何低壓熱處理應(yīng)用都可受益于使用 LINXON myRGA. 如對(duì)某特定氣體是否與所用的金屬發(fā)生相互作用有疑問(wèn),LINXON myRGA 可監(jiān)測(cè)其質(zhì)量數(shù), 并顯示其存在和相對(duì)含量. LINXON myRGA 還可用于實(shí)時(shí)泄漏監(jiān)測(cè)或在基本壓強(qiáng)下的手動(dòng)檢漏.

LINXON myRGA

LINXON 是真空儀器的全新品牌, 由真空行業(yè)創(chuàng)新儀器的優(yōu)秀供應(yīng)者INFICON 設(shè)計(jì)和制造. LINXON 儀器以優(yōu)秀的價(jià)格提供高性能, 通過(guò)精選的本地合作伙伴進(jìn)行分配, 并通過(guò)視頻教程, 廣泛的常見(jiàn)問(wèn)題解答, 工廠組織的用戶組等提供支持. LINXON產(chǎn)品是善于獨(dú)立做事的客戶的理想選擇.

LINXON四極質(zhì)譜分析儀（myRGA）

技術(shù)參數(shù)

(1) 在 10% 峰高處

(2) 在 8 小時(shí)的時(shí)間段內(nèi), 半小時(shí)預(yù)熱后; 僅 FC 模式

(3) 256 毫秒駐留時(shí)間