INFICON UL1000Fab氦質譜檢漏儀

INFICON UL1000Fab氦質譜檢漏儀漏率低至10-13pa.m3/s，開創泄漏檢測穩定性和靈敏性的新維度，INFICON UL1000Fab移動式氦氣泄漏檢測儀專門設計用于滿足半導體應用需求。UL1000 Fab將工廠環境系統內的易用性、泄漏檢測效率和機動性作為優先考慮因素，在整個測量范圍內都能做出極快的漏率響應。專有軟件I-CAL (漏率智能算法) 解決了低漏率范圍內響應時間較長的問題，因為UL1000 Fab能夠對所有漏率范圍快速做出響應。客戶通過增加TC1000測試室附件，UL1000 Fab氦氣泄漏檢測儀能夠簡單、快速、精確地測試密封件，例如集成電路組件、石英晶體和激光二極管 (根據MIL-STD 883標準，方法1014)。

技術特點：

l  快速抽氣和響應

l  可移動的全金屬機箱，具有無比的便利性與可操作性

l  I-CAL (Intelligent Calculation Algorithm for Leak rates，即漏率智能算法) 確保在全部測量范圍內最快速的響應時間

l  帶自動集成校準準的抑零功能可實現快速、頻繁、精準的檢漏測試

l  帶耐用的渦旋泵和多進氣口渦輪分子泵可應用于潔凈車間

l  高的氦抽速和高壓縮比

l  可旋轉的顯示器和用戶界面，使操作人員可以簡單容易地控制儀器，簡化了人與儀器之間的交互作用，并可選配無線遙控器，遠程操控。

l  自保護功能可保護UL1000 Fab免受氦氣和微粒污染

l  周期式自動沖洗功能確保清除污染，使儀器可以隨時準備好進行測試

l  INFICON免費提供軟件更新

l  用于內部標定的內置測試漏孔可確保精確的測試結果

l  內置軟件菜單“Auto Leak Test"(自動泄漏測試) 功能用于對密封件執行測試。使用選配TC1000測試室，可自動測試。