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更新時間：2025-12-24
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真空計安裝的核心目標是確保測量精度與穩定性，而法蘭接口匹配和管線布置是影響這一目標的兩大關鍵環節。若處理不當，易引發泄漏、讀數偏差、響應滯后甚至設備損壞，本文將詳細拆解相關避坑要點與實操方案。
法蘭作為真空計與系統的連接樞紐，其匹配度直接決定密封效果與測量準確性，需重點規避 “接口不兼容"“密封失效"“結構干擾" 三大問題。
法蘭類型 | 適用真空度 | 核心優勢 | 注意事項 |
KF（快卸法蘭） | 粗真空～高真空（10?~10?? Pa） | 安裝便捷、拆卸高效 | 密封可靠性有限，不適用超高真空 |
CF（金屬密封法蘭） | 高真空～超高真空（10?3~10?12 Pa） | 漏率極低、耐高溫烘烤 | 成本較高，需專用螺栓與墊片 |
ISO-K/ISO-F | 粗真空～超高真空 | 通用性強、口徑選擇多 | 需匹配對應密封槽規格 |
• 禁止僅憑 “目測尺寸" 判斷匹配性，必須核對公稱直徑（如 KF16、CF35）、密封槽類型、螺栓孔位與數量；
• 超高真空系統（10?? Pa 以下）嚴禁使用 KF 法蘭直接連接，優先選用 CF 法蘭（金屬無氧銅墊片密封，漏率≤10?11 Pa?m3/s）；
• 非標法蘭需定制專用過渡接頭，禁止打磨、焊接改造法蘭密封面（會破壞平整度，造成泄漏）。
密封件的材質與安裝方式直接影響密封效果，需根據真空度與介質特性精準匹配：
真空度區間 | 推薦密封件 | 材質特性 | 避坑要點 |
粗真空（10?~102 Pa） | 丁腈橡膠（NBR）墊片 | 彈性好、成本低 | 避免使用過期硬化墊片；安裝無褶皺、無偏移 |
高真空（102~10?? Pa） | 氟橡膠（FKM/Viton）墊片 | 耐溫性好、抗腐蝕 | 禁止沾油污（高溫烘烤時釋放氣體，污染系統） |
超高真空（<10?? Pa） | 無氧銅墊片 | 漏率極低、可反復烘烤 | 一次性使用，拆卸后必須更換；禁止重復壓合 |
• 安裝前用無水乙醇或丙酮擦拭法蘭密封面，確保無灰塵、顆粒、油污；
• 螺栓緊固采用 “對角均勻上緊" 法，分 2~3 次逐步擰緊（避免單邊受力導致法蘭變形，密封面貼合不均）；
• 密封件尺寸需與密封槽匹配，禁止 “小墊片裝大槽" 或 “大墊片硬塞小槽"。
若真空計法蘭口徑小于連接管線口徑，會形成 “臺階狀結構"，臺階處易積存氣體、冷凝物，導致測量值低于真實真空度（低真空階段尤為明顯）。
• 優先選擇與管線口徑相同或略大的真空計；
• 必須變徑時，使用漸變過渡接頭（避免直角變徑），過渡段長度≤管徑的 2 倍（如 25mm 管徑的過渡段長度≤50mm）。
連接管線是氣體傳輸的 “測量通道"，其長度、走向、管徑、材質會直接影響測量響應速度與讀數準確性，需圍繞 “減少傳輸阻力、避免氣體積存" 設計。
氣體分子在管線內的傳輸時間與管線長度成正比、與管徑平方成反比 —— 過長過細的管線會導致：
• 響應滯后：系統真空度已達標，真空計讀數遲遲不更新；
• 假真空：管線內壁吸附氣體，無法被真空泵及時抽走，導致讀數偏高。
• 管線長度控制在 30cm 以內，最長不超過 50cm；
• 管線內徑不小于真空計接口內徑（如 KF25 接口對應管線內徑≥25mm）；
• 超高真空系統建議真空計直接法蘭對接，取消獨立連接管線（消除管線干擾）。
• 水平盲端：管線水平布置且末端封閉，盲端內氣體難以抽走，成為 “額外氣源"，導致測量值偏高；
• 積液彎：系統內有可冷凝蒸氣（如水蒸氣、有機溶劑蒸氣）時，管線向下彎曲會形成積液彎，冷凝液積存會堵塞通道、腐蝕傳感器。
• 管線優先垂直布置，真空計安裝位置高于系統連接點，形成 15°~30° 上傾角（便于冷凝液回流至系統，而非積存于管線）；
• 必須水平布置時，在靠近真空計的一端加裝放氣閥，定期排空盲端氣體；
• 含冷凝蒸氣的系統，管線需加裝加熱帶（溫度略高于介質冷凝點），防止蒸氣液化。
閥門、濾網、彎頭會增加氣體傳輸阻力，降低抽氣效率，導致測量偏差，需盡量簡化管線結構：
• 真空計與系統之間盡量不設閥門；若必須安裝，選擇大通徑球閥（阻力小于閘閥、針閥），且閥門全程保持全開；
• 取消不必要的濾網；若需過濾顆粒，選擇大孔徑（≥1mm）金屬濾網，并定期清理（避免堵塞）；
• 彎頭數量≤2 個，且彎頭曲率半徑≥管徑的 3 倍（減少湍流對氣體傳輸的影響）。
普通碳鋼、橡膠管內壁會吸附大量氣體，真空環境下會釋放出來，干擾測量精度。
• 優先選擇304/316 不銹鋼管（內壁拋光處理更佳，吸附氣體量少）；
• 超高真空系統需使用電解拋光不銹鋼管（內壁粗糙度更低，放氣率≤10?1? Pa?m3/(s?cm2)）；
• 禁止使用橡膠軟管（除非短距離粗真空臨時連接），避免軟管內壁脫氣或老化開裂。
1. 真空計傳感器需正對氣流方向，避免背對真空泵抽氣口（否則會因 “氣流盲區" 導致讀數偏低）；
2. 避免將真空計安裝在熱源附近（如烘烤爐、電機），溫度過高會影響傳感器精度（建議工作環境溫度控制在 0~40℃），必要時加裝隔熱罩；
3. 遠離振動源（如真空泵機身），振動會導致傳感器松動或損壞，可加裝減震支架。
檢查項目 | 檢查內容 | 合格標準 | 備注 |
法蘭接口 | 法蘭標準匹配性 | 公稱直徑、密封槽、螺栓孔位一致 | 核對產品說明書 |
密封件選型 | 與真空度、介質匹配 | 參考密封件選型表 | |
密封面狀態 | 無劃痕、無油污、無顆粒 | 用無水乙醇擦拭后檢查 | |
螺栓緊固 | 對角均勻上緊，無松動 | 手動檢查無晃動 | |
管線布置 | 長度與管徑 | 長度≤30cm，內徑≥真空計接口內徑 | 用卷尺、卡尺測量 |
走向 | 垂直布置或 15°~30° 上傾 | 無水平盲端、無積液彎 | |
阻抗元件 | 彎頭≤2 個，無細濾網、小口徑閥門 | 簡化管線結構 | |
材質 | 304/316 不銹鋼管（超高真空用電解拋光管） | 禁止橡膠軟管 | |
安裝環境 | 位置 | 正對氣流方向，高于系統連接點 | 遠離抽氣口盲區 |
環境條件 | 遠離熱源、振動源，溫度 0~40℃ | 必要時加裝隔熱罩、減震支架 | |
功能測試 | 響應速度 | 系統真空度變化后，讀數更新≤5s | 對比系統實際真空度與表顯值 |
密封性 | 靜置 30min，真空度變化≤10% | 無明顯泄漏（可用氦質譜儀檢測） |
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