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KEY HIGH壓電真空流量閥（PEV-1）專為高真空系統研發的壓電式高精度微量比例進氣閥，核心采用壓電陶瓷彎曲驅動元件，通過 0~100VDC 電壓線性控制閥門開度，實現 0~500SCCM 氣體流量連續精準調節，適配真空腔體 PID 閉環恒壓控制場景。

PRECESS L-Motion 移位傳輸門閥適用于腐蝕工藝，如蝕刻或 CVD，通過單軸氣動執行器對閘門進行 L 型運動的技術。在 L 型運動中，閘門垂直移動到接近位置 - 不與閥體有任何接觸 - 在最后的運動中，它被水平推到閘閥座上，密封件以與連接的氣壓相關的固定力接觸閘閥座。