一、行業背景

當下半導體先進制程已推進至 2nm、1nm 節點，光刻精度、腔體潔凈度要求達到全新高度。真空閥門作為核心運動部件，是管路內顆粒污染物的主要產生源；如何抑制啟閉過程粉塵生成，已是高級晶圓設備研發的核心難題。

二、產品定位與應用

日揚 L-MOTION（50×336）矩形傳輸閥，用于半導體真空傳輸通道、工藝腔室隔斷，實現晶圓傳輸、工藝腔體隔離。

核心優勢

1. 支持自定義啟閉調速，可靈活調節開關速度

2. 動作平順柔和，低振動、超低粉塵生成

3. 標配 L 型兩段式獨立運動軌跡

4. Class6 無塵車間整機裝配，潔凈等級拉滿

三、核心運動原理（無摩擦抑塵設計）

摒棄傳統擺桿傳動結構，采用正交分段封合技術，實現密封面零滑動摩擦： 閥板分兩步獨立動作：先垂直升降到位，再水平壓緊貼合閥座。 全程閥板、閥體無相對滑動，O 型圈僅垂直受壓，不存在橫向摩擦損耗，從根源減少摩擦產塵，大幅延長密封件使用壽命。 所有運動機構依靠金屬焊接波紋管隔絕真空側，長期運行氦密封性能穩定可靠。

                                                                              class6無塵室組裝

四、低振動實測數據與調速優勢

                                                                             振動測試

采用三軸加速度傳感器采集 X/Y/Z 三向振動數據，統一 2s 標準啟閉時長、額定氣壓下循環測試： 閥門振動峰值穩定 0.02~0.08G，遠低于行業 0.15G 管控標準，波形平緩無沖擊尖峰；裝配至工藝腔體后振動幅值會進一步降低。 搭配可調速功能，可自定義低速運行模式：

1. 削弱振動對精密半導體工藝的干擾；

2. 減少振動引發的顆粒擴散、脫落，從源頭控制腔體粉塵污染。