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更新時間：2026-05-07
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針對 INFICON PSG500-S 真空計出現(xiàn) “真空度來回飄" 的問題，清潔是排查步驟之一，但需優(yōu)先確認故障類型。以下是針對該型號的安全清潔指南與故障排查方案。
1. 斷電與泄壓：清潔前必須關閉電源，并確保真空計與真空系統(tǒng)已泄壓至常壓，嚴禁在真空或帶電狀態(tài)下操作。
2. 禁用強溶劑：嚴禁使用丙酮、酒精、強酸強堿等腐蝕性溶劑，以免損壞傳感器內部的精密涂層與密封件。
PSG500-S 是皮拉尼 / 電容膜片組合真空計，核心清潔部位是傳感器探頭的進氣口與膜片區(qū)域。
1. 拆卸：小心地從真空系統(tǒng)管路中拆下 PSG500-S 的傳感器探頭（通常是獨立的金屬探頭）。
2. 外部清潔：用無塵布蘸取少量中性清潔劑（如微量洗潔精水），輕輕擦拭探頭外殼和進氣口的表面油污、灰塵。
3. 內部清潔 (關鍵)：
l 對于金屬材質的進氣口濾網(wǎng)：可用壓縮空氣（壓力 < 0.5MPa）從反方向輕輕吹掃，或用軟毛刷輕輕刷除粉塵。
l 對于傳感器膜片：這是最易臟且影響測量的部件。絕對不能用布或棉簽擦拭，會造成損傷。
l 正確方法：用潔凈的氮氣（Nitrogen）或干燥的高純空氣，從探頭側面以45 度角、低流量對著膜片表面輕輕吹洗，利用氣流帶走浮塵。
l 頑固污漬：如果有油污，可將探頭（僅探頭部分）放入盛有專用真空計清洗液（可向 INFICON 售后購買）的容器中，浸泡 5-10 分鐘，然后取出用潔凈氮氣吹干。嚴禁液體進入探頭內部電路。
4. 干燥：清潔后，將探頭放置在潔凈干燥環(huán)境中自然晾干或用氮氣吹干，確保無任何液體殘留后再安裝。
清潔后若問題依舊，說明故障可能并非單純污染，需按以下步驟排查：
排查方向 | 具體檢查項 | 解決方法 |
物理泄漏 | 1. 檢查真空計與系統(tǒng)連接的螺紋、快卸法蘭是否擰緊，密封圈（O-ring）是否老化、變形或有劃痕。2. 檢查探頭本身的密封焊縫是否有微裂。 | 1. 重新緊固接口，更換新的密封圈。2. 若焊縫損壞，需返廠維修。 |
系統(tǒng)污染 | 1. 真空系統(tǒng)內部是否有揮發(fā)性物質（如油脂、溶劑、水汽）未烘烤除氣。2. 前級泵油是否乳化、污染。 | 1. 對系統(tǒng)進行長時間烘烤（Bake-out），去除水汽和揮發(fā)物。2. 更換前級泵油并清潔泵腔。 |
儀表本身 | 1. 零點漂移：在真空狀態(tài)下，通過儀表菜單執(zhí)行零點校準。2. 傳感器老化：清潔并校準后，讀數(shù)仍劇烈波動，可能是傳感器內部元件老化。 | 1. 嚴格按照說明書執(zhí)行零點校準。2. 聯(lián)系 INFICON 售后檢測或更換傳感器探頭。 |
電氣干擾 | 1. 真空計的供電電源是否穩(wěn)定，有無大功率設備干擾。2. 連接電纜是否破損、接地不良。 | 1. 使用穩(wěn)壓電源，確保獨立接地。2. 更換屏蔽電纜，確保良好接地。 |
· 優(yōu)先校準：清潔后，強烈建議通過 INFICON 的專業(yè)軟件或儀表自帶菜單進行全量程校準。
· 專業(yè)維修：如果以上步驟均無效，且真空度在低真空段（如 1-10 Pa）波動明顯，通常是 ** Pirani 傳感器故障；若在高真空段 **（<1e-3 Pa）波動，則是電容膜片傳感器問題。這兩種情況都需要由 INFICON或授權服務商進行專業(yè)檢測和維修，切勿自行拆解內部電路。
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