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產品分類15796516293
更新時間：2026-06-03
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INFICON（英福康）皮拉尼真空計選型（一）
什么時候選擇皮拉尼真空計？
測量范圍：5×10-2 Pa至大氣壓
INFICON皮拉尼真空計的型號有那些？
1. PSG5xx系列
（包括PSG500、PSG502-S、PSG510-S 和 PSG512-S ）
測量范圍：5×10-2 Pa至大氣壓
測量精度
Accuracy(N2) |
|
|
1 x 10-3 … 100 mbar | % of reading | ±15% |
5 x 10-4 … 1 x 10-3 mbar | % of reading | ±50% |
100 … 1000 mbar | % of reading | ±50% |
2. PSG55x系列
（包括PSG550、PSG552、PSG554）
測量范圍：5×10-3 Pa至大氣壓
測量精度
精度 (N2) | ||
5×10-4 … 1×10-3 毫巴 | %讀數 | ±50 |
1×10-3 … 100 毫巴 | %讀數 | ±15 |
100 … 1000 毫巴 | %讀數 | ±50 |
3. PGE300系列
測量范圍：1.3×10-4 … 1333mbar
測量精度
1.3 × 10-4 … 1.3 x 10-3 mbar | mbar | ±10 |
1.3 × 10-3 … 530 mbar | % of reading | ±10 |
530 … 1333 mbar | % of reading | ±2.5 |
1×10-4 … 1×10-3 Torr | 1×10-4 … 1×10-3 Torr | 0.1 mTorr resolution |
1×10-3 … 400 Torr | % of reading | ±10 |
400 … 1000 Torr | % of reading | ±2.5 |
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