皮拉尼真空計又稱皮氏計,是1906年由德國物理學(xué)家Marcello Pirani發(fā)明的熱傳導(dǎo)式真空測量儀器,是中低真空場景下應(yīng)用廣泛的測量設(shè)備之一。
皮拉尼真空計其核心使用注意事項:
一、校準(zhǔn)相關(guān)要求
使用前必須按順序完成零點(diǎn)和滿度校準(zhǔn):先將系統(tǒng)抽至1×10?¹Pa以上完成零點(diǎn)校準(zhǔn),再通入大氣穩(wěn)定10分鐘完成滿度校準(zhǔn),僅在更換規(guī)管時才需要重新校準(zhǔn),日常無需反復(fù)調(diào)校。
二、氣體種類適配
皮拉尼真空計默認(rèn)以空氣/氮?dú)鉃樾?zhǔn)基準(zhǔn),測量氬氣、氫氣、有機(jī)蒸氣等其他氣體時,因熱導(dǎo)率差異讀數(shù)會出現(xiàn)偏差,高精度測量需使用對應(yīng)氣體的修正曲線,或更換電容薄膜規(guī)等適配設(shè)備。
三、安裝與防護(hù)要點(diǎn)
在易產(chǎn)生粉塵、油蒸氣的污染系統(tǒng)中,規(guī)管需端口朝下安裝,減少污染物在管內(nèi)積聚,避免熱絲被污染后影響測量精度,延長設(shè)備使用壽命。
四、操作使用規(guī)范
開機(jī)后需等待3秒預(yù)熱再進(jìn)入測量狀態(tài),測量范圍需控制在1×10?¹Pa ~ 1×10?Pa的額定區(qū)間內(nèi),超出量程會導(dǎo)致測量失效,超高真空場景需搭配電離計協(xié)同使用。