汽車整車、零部件制造過程中，泄漏檢測是把控產品密封品質的核心工序，不同工件結構、產線自動化程度、成本預算，適配不同的示蹤氣體檢漏工藝。INFICON 英福康深耕泄漏檢測領域超 50 年，針對市場主流氦、氫示蹤氣體檢漏方案做全面拆解對比，清晰梳理各類方法的原理、靈敏度、設備成本與適用場景，方便設備選型、工藝工程師匹配好的檢測方案。

一、兩種主流示蹤氣體特性對比

行業通用示蹤氣體分為純氦氣、氮氫混合氣兩大類，二者本底、安全、成本差異明顯：

1. 氦氣示蹤介質 氦氣屬于惰性氣體，無毒、不可燃，空氣中天然本底濃度僅 5 ppm，干擾信號少；分子量僅 4，穿透微小漏孔能力強，是超高精度檢測優選介質，廣泛用于半導體、精密真空器件、汽車零部件檢測。

2. 5% 氫氣 + 95% 氮氣混合氣 純氫氣易燃易爆，因此工業檢漏僅使用稀釋混合氣；空氣中氫氣本底低至 0.5 ppm，檢測信噪比優異，混合氣采購成本低于純氦，多用于普通汽配、管路粗檢漏場景。

二、檢漏方式基礎分類：內出法與外進法

按照示蹤氣體進出工件方向，所有氣體檢漏分為兩大體系，覆蓋真空、累積、吸槍、轟擊全工藝：

表格

（一）真空檢漏法（內充外抽，最高靈敏度）

將工件放入密閉真空測試倉，工件內部充入氦氣，真空泵持續抽取測試倉，質譜儀捕捉穿透漏孔的氦分子。

1. 性能優勢：行業最高檢測精度，最小可檢漏率達 1×10?12 mbar?L/s；檢測周期短，適配全自動量產產線；可使用低濃度氦氣，大幅降低耗材成本。

2. 適用場景：汽車精密閥體、空調換熱器、半導體真空腔體等高精度全件密封性批量檢測。

（二）累積檢漏法（低成本批量檢測方案）

工件充氦后放置常壓密閉累積倉，風扇混勻倉內氣體，傳感器定時采集倉內氦濃度計算總漏率，依托 INFICON Wise Technology 傳感器實現無真空檢測。

1. 性能優勢：無需高真空艙體，設備投入僅為真空檢漏設備 1/4~1/2；最小可檢漏率 5×10?? mbar?L/s，滿足多數汽配常規檢測需求。

2. 升級方案：超高真空累積式 CHLD 設備（Pernicka 700H），融合真空 + 累積原理，極限漏率可達 4×10?1? mbar?L/s，適配科研、航空超精密器件。

（三）吸槍檢漏法（精準定位漏孔）

工件內部充高壓示蹤氣體，手持 / 機械手搭載吸槍沿工件表面掃描，直接捕捉泄漏氣體，精準定位漏孔具體位置，INFICON Protec P3000 (XL) 吸槍檢漏儀最小漏率 1×10?? mbar?L/s。 適用場景：焊縫、法蘭、接頭等單點漏孔排查，設備維修、樣品返修工序。除氦氫外，也可檢測 R134a、CO?、SF?冷媒氣體泄漏。

（四）轟擊檢漏法（密閉無內腔工件專用）

整合正壓充氣 + 真空檢測雙重流程：工件先放入高壓示蹤氣倉，氣體透過漏孔滲入工件內部；再轉移至真空倉，檢測內部析出的示蹤氣體。 適配產品：無內部空腔密封傳感器、小型密閉元器件，可檢測水汽滲透缺陷；短板：大漏會提前排空工件內示蹤氣，易出現漏檢，需搭配前置粗漏篩查工序。

三、工藝選型實用建議

1. 追求超高精度、全自動量產：優先真空箱式氦檢；

2. 控制設備采購預算、常規汽配批量檢測：選用累積式檢漏；

3. 需要精準找到漏孔位置、返修調試：搭配吸槍檢漏儀；

4. 無內腔密封小型零部件：采用轟擊式檢漏工藝。