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產品中心INFICON英福康Transpector CPXINFICON英福康殘余氣體分析儀
產品簡介
INFICON英福康殘余氣體分析儀（Transpector CPX）用于半導體制造中的過程監控。新一代Transpector CPX相較于前代產品，其體積減少了30%。
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產品分類| 品牌 | INFICON/美國 | 產地類別 | 進口 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 電子/電池,電氣 |
INFICON英福康殘余氣體分析儀（Transpector CPX）
增強性能、可靠性驗證與應用多樣性
INFICON Transpector CPX 是一款市場優秀的殘余氣體分析儀（RGA），用于半導體制造中的過程監控。INFICON 深知半導體制造過程有特定需求，需要靈活性以滿足應用要求。Transpector CPX 設計時充分考慮了這一多樣性，配備了多壓力 HexBlock 入口和多種功能選項，以滿足應用需求。
新一代Transpector CPX相較于前代產品*體積減少了30%，同時保持行業優秀的抽氣系統。此外，Transpector CPX 還是一款更智能的系統，具有更強的控制能力。
*與 Transpector CPM 3 相比
優勢
l 可配置的 HexBlock，最多支持三個壓力入口，適用于多種應用
l 與 Transpector CPM 3 相比，系統體積減少 30%，便于在空間受限的應用中進行 RGA 集成
l 通過行業優秀的抽氣系統和溫控加熱組件簡化系統復雜度
l 自動校準確保長期數據可靠性和準確性，實現傳感器到傳感器、工具到工具的腔室匹配
l 當與 FabGuard 軟件集成并由 INFICON 應用專家支持時，Transpector CPX 成為*的過程監控和診斷工具
INFICON英福康殘余氣體分析儀（Transpector CPX）
技術規格
型號 | 100AMU | 200AMU | 300AMU |
檢測極限 | <200 ppb | <500 ppb | <1 ppm |
過程壓力范圍 | 1E-8 Torr to 1.2 atm | 1E-8 Torr to 1.2 atm | 1E-8 Torr to 1.2 atm |
靈敏度（低發射） | > 4E-6 Amps/Torr | > 4E-6 Amps/Torr | > 4E-6 Amps/Torr |
靈敏度（高發射） | > 2E-5 Amps/Torr | > 2E-5 Amps/Torr | > 2E-5 Amps/Torr |
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