INFICON英福康殘余氣體分析儀（Transpector XPR 3+）

監(jiān)測并控制快速過程變化

新的Transpector XPR 3+殘余氣體分析儀(RGA)提供業(yè)內(nèi)優(yōu)秀的測量速度，以監(jiān)測并控制現(xiàn)代半導(dǎo)體和顯示屏生產(chǎn)所需的快速過程變化。Transpector XPR 3+非常適合于現(xiàn)場空氣漏點、氣體純度、碳?xì)浠衔锖臀廴颈O(jiān)測。相比定期上升率測試，Transpector XPR 3+ 進(jìn)行的實時測量可提供很好的產(chǎn)品保護(hù)。

通過充分利用工具使用時間促進(jìn)盈利能力

Transpector XPR 3+ RGA 是用于濺射壓力范圍應(yīng)用的經(jīng)實踐驗證的四極和雙離子源傳感器。無需壓力轉(zhuǎn)換設(shè)備，部件使用壽命長，能快速檢測并診斷問題，從而充分利用工具可用性、產(chǎn)品吞吐量和產(chǎn)量。傳感器可在高真空到 20 mTorr 范圍連續(xù)工作，無需泵。Transpector XPR 3+ 雙離子源腔室設(shè)計用于限制涂層，以保持離子源靈敏度，并延長傳感器平均維護(hù)時間。

優(yōu)勢

l 從高真空到 PVD 流程壓強條件下，能夠高靈敏度地檢測空氣泄漏和污染，實時保護(hù)晶圓和面板

l 充分利用 PM 效率和工具正常使用時間，具有快速可靠的腔室條件

l 通過延長使用壽命、防污染、雙離子源設(shè)計最小化總體擁有成本；無需泵，即可監(jiān)測高達(dá) 20 mTorr 的壓強。低壓 EM 變體可提供成本敏感的替代選擇

l 通過*數(shù)據(jù)采集與同步實現(xiàn)無縫工廠集成和可靠阻斷

l 通過定制配方優(yōu)化增強獨特生產(chǎn)能力

l 通過即時現(xiàn)場專家響應(yīng)保護(hù)關(guān)鍵過程需求

典型應(yīng)用

l PVD 和濺射過程模塊

l 預(yù)清洗模塊

l 非群集 PVD 工具

l 夾鉗式除氣模塊

INFICON英福康殘余氣體分析儀（Transpector XPR 3+）

技術(shù)規(guī)格

杭州域勢科技有限公司專注于為工業(yè)及科研客戶提供流量、壓力、真空檢測及控制相關(guān)的技術(shù)服務(wù)及解決方案，公司代理經(jīng)銷美國ALICAT、瑞士Vogtlin、美國MKS、日本EBARA等品牌，結(jié)合代理的產(chǎn)品為客戶提供優(yōu)質(zhì)的流量及壓力監(jiān)控解決方案，旨在提高客戶的研發(fā)及生產(chǎn)效率、改進(jìn)客戶制造工藝、推動客戶科研及創(chuàng)新進(jìn)度。