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產品簡介
HTC日揚氣動波紋管矩形傳輸閥(GRB系列)為半導體真空設備專用升降式矩形真空閥，采用氣動驅動 + 金屬波紋管軸封隔離結構，閥體標配電解拋光工藝，隔絕閥桿往復運動帶來的泄漏問題。
| 品牌 | HTC日揚 | 重量 | 49kg |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 化工,半導體,機械設備 |
HTC日揚氣動波紋管矩形傳輸閥(GRB系列)
HTC日揚GRB系列矩形傳輸閥為半導體真空設備專用升降式矩形真空閥，采用氣動驅動 + 金屬波紋管軸封隔離結構，閥體標配電解拋光工藝，隔絕閥桿往復運動帶來的泄漏問題；閥板采用 Viton 氟橡膠軟密封，出廠標配簧片式位置傳感器，可實時反饋閥門全開 / 全關信號，方便接入 PLC 自動化控制系統。 產品分為兩大材質系列：GRB-A（A6061-T6 鋁合金閥體）、GRB-S（SUS304 不銹鋼閥體），具備極低漏率、長使用壽命、耐潔凈真空環境等優勢，廣泛應用于晶圓鍍膜、刻蝕設備、真空腔體傳輸通道、高真空流水線等半導體制程場景。閥門可氣缸向上、向下雙向安裝，支持選配多種電壓電磁閥，適配自動化真空產線批量配套。
1. 驅動形式：氣動驅動，內置波紋管動密封隔離結構；
2. 表面處理：閥體標準電解拋光；
3. 密封配件：閥板標配 Viton O 型圈；
4. 電氣配置：標配簧片位置傳感器（DC4~24V/AC4~240V，5~40mA），可選配 DC24V、AC24V、AC110V、AC220V 電磁閥；
5. 管路接口：驅動氣管接口 Φ6mm；
6. 安裝方式：氣缸向上、氣缸向下兩種安裝方位。
參數項目 | 詳細指標 |
主軸密封結構 | 波紋管密封 |
閥體泄漏率 | 1×10-9mbar·L/s |
閥板泄漏率 | 1×10-9mbar·L/s |
閥體表面處理 | 電解拋光 |
耐受溫度 | 閥體＜90℃，氣動驅動模塊＜60℃ |
正向承壓壓差 | ≤1.2 bar（P1＞P2） |
反向承壓壓差 | ≤1.0 bar（P1＜P2） |
開啟壓差 | ＜10 mbar |
工作壓力范圍 | 1×10-8mbar～1.0bar |
氣源驅動壓力 | 5～7Kg/cm2 |
氣管接口規格 | Φ6 mm |
閥板標準密封件 | Viton O 型圈 |
標配傳感器 | 簧片位置傳感器 DC4~24V / AC4~240V，5~40mA |
可選電磁閥 | DC24V、AC24V、AC110V、AC220V |
1. 正向壓差：腔體 P1 壓力＞工藝腔 P2 壓力，差值 = P1-P2；
2. 反向壓差：腔體 P1 壓力＜工藝腔 P2 壓力，差值 = P2-P1；
3. 開啟壓差：P1-P2＜10mbar；
4. 使用壽命前提：室溫 25℃、潔凈工況、開啟壓差＜10mbar，超出壓差范圍則質保壽命不生效。
型號 | 料號 | 閥體材質 | 閥板材質 | 開啟 / 關閉時間 | 閥板密封 | 使用壽命 | 重量 |
GRB-A-32222 | GR01A213 | A6061-T6 | A6061-T6 | 開≤1s、關≤1s | Viton | 100 萬次 | 15kg |
GRB-A-46236 | GR02A213 | A6061-T6 | A6061-T6 | 開≤1s、關≤1s | Viton | 100 萬次 | 16kg |
GRB-A-50336 | GR03A213 | A6061-T6 | A6061-T6 | 開≤1s、關≤1s | Viton | 200 萬次 | 21kg |
GRB-A-56496 | GR04A213 | A6061-T6 | A6061-T6 | 開≤2s、關≤3.5s | Viton | 100 萬次 | 29kg |
GRB-S-32222 | GR01A113 | SUS304 | SUS304 | 開≤1s、關≤1s | Viton | 100 萬次 | 20kg |
GRB-S-46236 | GR02A113 | SUS304 | SUS304 | 開≤1s、關≤1s | Viton | 100 萬次 | 22kg |
GRB-S-50336 | GR03A113 | SUS304 | SUS304 | 開≤1s、關≤1s | Viton | 200 萬次 | 34kg |
GRB-S-56496 | GR04A113 | SUS304 | SUS304 | 開≤2s、關≤3.5s | Viton | 100 萬次 | 49kg |
型號 | D | D1 | D2 | D3 | D4 | D5 | A | B | C | E | H | K | K1 | K2 | L | M |
GRB-A-32222 | 22 | 32 | 311 | 50 | 105 | 61.5 | 50 | 310 | 300 | 285 | 49 | 340 | 83 | 28.5 | 501.5 | 224 |
GRB-A-46236 | 236 | 46 | 325 | 50 | 112 | 61.5 | 50 | 310 | 300 | 285 | 49 | 340 | 83 | 28.5 | 508.5 | 224 |
GRB-A-50336 | 336 | 50 | 422 | 50 | 112 | 63 | 60 | 410 | 400 | 385 | 59 | 440 | 83 | 30 | 475 | 250 |
GRB-A-56496 | 496 | 56 | 540 | 61 | 117.5 | 66 | 70 | 570 | 560 | 545 | 69 | 600 | 94 | 33 | 513.5 | 282 |
GRB-S-32222 | 22 | 32 | 311 | 50 | 105 | 61.5 | 50 | 310 | 300 | 285 | 49 | 340 | 83 | 28.5 | 501.5 | 224 |
GRB-S-46236 | 236 | 46 | 325 | 50 | 112 | 61.5 | 50 | 310 | 300 | 285 | 49 | 340 | 83 | 28.5 | 508.5 | 224 |
GRB-S-50336 | 336 | 50 | 422 | 50 | 112 | 63 | 60 | 410 | 400 | 385 | 59 | 440 | 83 | 30 | 475 | 250 |
GRB-S-56496 | 496 | 56 | 540 | 61 | 117.5 | 66 | 70 | 570 | 560 | 545 | 69 | 600 | 94 | 33 | 513.5 | 282 |
1. 波紋管密封結構：閥桿隔離真空腔體，動密封無往復泄漏，漏率低至1×10-9mbar·L/s，適配超高潔凈真空；
2. 雙材質選型：鋁合金輕量化款、304 不銹鋼耐腐蝕款，滿足不同制程環境；
3. 長使用壽命：主力型號可達 200 萬次開關耐久，工業產線長期穩定運行；
4. 自動化配套齊全：標配閥位傳感器、多電壓電磁閥可選，可快速對接半導體設備 PLC；
5. 電解拋光閥體：內壁光潔無雜質析出，適配晶圓、鍍膜等高精度潔凈制程；
6. 雙向安裝：氣缸上下均可裝配，設備腔體布局適配性強。
HTC日揚氣動波紋管矩形傳輸閥(GRB系列)
半導體晶圓刻蝕、PVD/CVD 鍍膜設備、真空傳輸腔體、鋰電高真空封裝、科研超高真空平臺、精密元器件真空檢漏流水線。
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